光刻机巨头阿斯麦参展进博会 美技术“卡脖”未能限制中国

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中国芯片技术遭美国“卡脖”关键时期,全球芯片光刻机巨头荷兰企业阿斯麦(ASML)宣布为中国亮绿灯。近期中国国际进口博览会在上海开幕,ASML应邀参加。

上海微电子装备公司是中国开发光刻机主力企业,但光刻机分辨率严重落后于全球主要光刻机供应商。(荷兰ASML官网)

据中国官媒新华社报道,荷兰企业阿斯麦将亮相中国国际进口博览会,在会上呈现整体光刻解决方案。中国国际进口博览会在11月5日开幕。

据阿斯麦全球副总裁、中国区总裁沈波介绍,阿斯麦在中国大陆地区装机已有700台,2020年第二、三季度,发往中国大陆地区的光刻机台数超过了全球总台数20%。

对阿斯麦来说,中国无疑是一个大市场,相比近期美国对中国实施出口限制特别是对芯片技术的限制,阿斯麦的态度则明显靠向中国。

10月,美国商务部工业安全局(BIS)再对六项新兴技术实施出口限制管控,加上之前共计37项技术被限制出口。

美国出口管制的清单包括“用于制造极紫外线掩模的计算光刻技术软件”“用于为 5nm 生产精加工芯片的技术”。

这两大芯片技术都与芯片制造中最重要的设备光刻机息息相关,尤其是当下5nm芯片已成为高端芯片时代的主流产品,当前最为先进的光刻机产品当属EUV(极紫外)光刻机和稍逊色的DUV(深紫外)光刻机。

而目前中国的光刻机制造还处于起步阶段,美国的芯片技术限制可以说直接“卡脖”中国。

不过在美国宣布出口管制清单不久,阿斯麦宣布允许中国进口DUV光刻机,无需美国许可,而更先进的EUV光刻机并未被提及。

阿斯麦方面提到,如果相关系统或零件是从美国出口的,那这些设备仍然需要得到美方的许可。即便如此,对中国而言也是难得的好消息。

光刻机是芯片制造中最重要的设备之一。如今在全球兴起的云端计算、人工智能以及海量数据都需要芯片作为载体。在全球光刻机市场,日本的尼康、佳能,和荷兰阿斯麦占据了 90% 以上份额。而最高级的 EUV技术,则只有阿斯麦一家掌握。

在中国芯片技术被美国“卡脖”关键阶段,阿斯麦对中国亮绿灯无疑是雪中送炭。当前全球人工智能推向新高潮,高新技术成为各国实力角逐的重要领域。

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