华为投资光刻机领域 成“科益虹源”第七大股东

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据陆媒《新浪科技》5日报道,华为旗下的哈勃投资公司开始投资光刻机领域,入股由中科院微电子所控股的北京科益虹源光电技术公司。

报道指,北京科益虹源光电技术公司日前发生了变化,注册资金从1.2亿元(人民币,下同)增加到2.02亿元,增长68%,主要是投资人多了,其中就有华为旗下的哈勃投资,占股4.76%,成为第七大股东。

科益虹源的控股股东是中科院微电子所,持股26.6%,主要业务是光刻机三大核心技术之一的“光源系统”,是内地第一、全球第三的193nm ArF准分子雷射器企业。

科益虹源集成电路光刻光源制造及服务基地项目去年4月份开工,该项目由科益虹源投资建设,总投资5亿元,建筑面积1.2万平方米,年产RS222型光刻准分子激光器、光刻用准分子激光器、405光纤耦合头等各类设备30台。

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