光刻机龙头ASML回应出口中国光刻机进展 部分无需美国许可

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实验室人员在操作光刻机。(中科院科技摄影联盟)

全球光刻机龙头ASML(阿斯麦)总裁兼CEO Peter Wennink 在最新季度财报说明会上对中芯国际等中国客户的出货情况做了解释。

他强调,根据当前法规,ASML无需获得美国出口许可证便可以继续从荷兰向中国客户出货DUV光刻系统;对于直接从美国发货系统或零件到受法规影响的客户,ASML需获得许可证。

不过,ASML并未提到有关最先进的EUV光刻机向中国出口的政策。

据此前报道,2018年初,ASML与中芯国际达成EUV光刻机采购订单,价值约1.2亿美元,原本预计在2019年底交付。但因荷兰政府没有向ASML发放新的出口许可,导致未能交付。新冠肺炎(COVID-19)疫情影响下,ASML表示光刻机生产制造未受影响,需求也没有发生变化,但供应链被限制,导致交付延期。其中提到了对武汉客户的影响,虽然并未直接点名中芯国际,不过中芯国际在武汉有一座12英寸晶圆厂,并且中国也只有中芯国际下单。

对此,澎湃新闻报道称,在2020年7月6日举行的中芯国际(SMIC)路演互动交流中,有投资者提问公司何时将收到EUV(极紫外)光刻机。中芯国际董事长兼执行董事周子学表示,关于设备采购公司依据相关商业协议进行,不对单一设备的采购情况进行评论。

周子学称,公司目前量产和主要在研项目暂不需用到EUV光刻机。

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