ASML的EUV光刻机被美国卡死:中国企业一台都买不到

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荷兰光刻机巨头阿斯麦(ASML)来华参加第三届中国国际进口博览会期间,展示了DUV(深紫外)光刻机,该产品可生产7nm及以上制程芯片。按照ASML全球副总裁、中国区总裁沈波的说法,2020年第二季度及第三季度,ASML发往中国大陆的光刻机台数超过了全球总台数的20%,但这些光刻机中,不包含EUV (极紫外光源)设备。

ASML是全球最大半导体设备制造商。(荷兰ASML官网)

据中国媒体快科技11月10日的报道中提到,ASML在光刻机领域几乎是巨无霸的存在,而他们对于与中国企业合作也是非常欢迎,无奈一些关键细节上被美国卡死。

据悉,EUV光刻机是光刻机在发展过程中的第五代产品,由于采用了极紫外线,它的最小工业节点到了22nm至7nm,可以说是世界上最先进的光刻机设备。而这种设备,只有ASML能造出来。

2018年4月,中芯国际曾向ASML订购了一台EUV光刻机,价值1.2亿美元,预计2019年年初交货,但最终这项交易未能达成。因美国方面盯上了这笔交易,美方官员与荷兰官员进行了至少四次会晤,讨论可否直接封杀这笔交易。

沈波在进博会期间表示,该公司对向中国出口集成电路光刻机持开放态度,对全球客户均一视同仁,在法律法规框架下,都将全力支持。

探究中国大陆未拿到一台EUV光刻机的原因。中国媒体雷锋网11月9日的报道中提到,中芯国际向ASML订购EUV光刻机时,ASML回应称,向中国出售EUV光刻机并没有违反美国主导《瓦森纳协定》,而荷兰政府当时也的确向ASML发放了出口许可证。

但美国官员频繁与荷兰高层会面,2019年元旦前后,美国国防部官员在荷兰驻华盛顿大使馆向对方讨论了这笔交易的 “安全风险”;随后在2019年6月,美国国务卿蓬佩奥(Mike Pompeo)访问荷兰,再次向荷兰政府施加压力,要求停止这笔交易。

2018年12月1日,ASML元件供应商Prodrive的一家工厂还发生重大火灾,ASML公开表示,2019年年初的出货预计将延迟。到了2019年6月30日,荷兰政府向ASML颁发的出口许可证到期。

报道认为,荷兰对于向中国大陆出售光刻机一直是非常积极的,ASML也已经向荷兰政府提交出口EUV光刻机的申请,而荷兰政府则在等待美国政府的态度。

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