曾遭外国技术封锁 中国终拿到光刻机入场券

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全球光刻机市场在18年前只有荷兰等国拥有“入场券”,并对中国实施技术封锁。

据中国媒体前瞻网11月14日报道,中央广播电视总台财经节目中心和上海总站联合推出的纪录片中,第四集讲述中国光刻机的研发历史。节目中提到,18年前,全球光刻机市场只有荷兰、美国、日本拥有“入场券”,并对中国实施技术封锁。

上海微电子装备公司是中国开发光刻机主力企业,但光刻机分辨率严重落后于全球主要光刻机供应商。(荷兰ASML官网)

2002年,光刻机就被列入了中国863重大科技攻关计划,并且成立了针对光刻机技术的上海微电子,为了攻克光刻机技术,上海微电子装备(集团)股份有限公司副董事长贺荣明抱着求学的心态出国考察,外方工程师的一番话,却深深刺痛了他的心。“他说,光刻机不是你有了一种设计,有了一份图纸,就可以把它装起来的东西。我哪怕把所有的图纸都给你们中国人,其实你们未必能够做出光刻机。”

对于光刻机来说,曝光是最关键的环节。2007年,贺荣明带领的研发团队迎来了第一次正式曝光。2007年2月8日,五年的坚守与付出,终于初见曙光。

如今,全世界能够生产光刻机的国家,只有4个。中国依托张江的创新,成为了其中的一员,实现了从无到有的突破。

虽然,目前上微电子的光刻机能够刻蚀90nm的集成电路,距离国外先进水平还有差距,但是这已经为中国的电子工业提供了相当的支持,毕竟并非所有的芯片都需要做到7nm。中国的自主CPU龙芯2F采用90nm制程可以达到800兆赫的主频,这一水平无论在经济上还是军事上都有重大价值。

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